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XEIA3 | Unidad de trabajo UHR SEM/i-FIB

La nueva unidad de trabajo UHR SEM/i-FIB ha sido desarrollada para aplicaciones que requieren de una demanda extremadamente potente y ultra rápida para llevara a cabo micro-/nano-FIB, una resolución espectacular a bajas energías del haz, etc.

Logo TESCAN

Características principales:
  • Potente columna SEM.
  • Detectores en haz para la obtención de imagenes en distancias de trabajo muy cortas
  • Fuente ultra-rápida de iones FIB con plasma de Xenon
  • Obtención de imágenes SEM simultánea durante el uso del FIB o deposición
  • Capacidades de modelado 3D y caracterizaciones avanzadas con una visualización en tiempo real durante los procesos FIB o litografía
  • Solución novedosa para un rápido microanálisis en 3 dimensiones, como 3D EDX y reconstrucciones EBSD
  • Integración única con TOF-SIMS y el microscopio para inspección de obleas de 12'' a través de una cámara de tamaño ampliado para permitir inspección de obleas de 6'', 8'' y 12”. La inspección de obleas de 12'' es una característica exclusiva de los equipos TESCAN
  • Sistema de inyección de gas (GIS) para mejorar sus aplicaciones FIB
  • Electrónica de alto rendimiento para la adquisición de imágenes más rápidamente, hasta 20 ns / pxl, excelente tasa de deposición y un escaneo ultra rápido
  • Potente turbomolecular y bomba de vacío para mantener la cámara limpia

XEIA3 - TESCAN

Catálogo con información técnica de XEIA3 haciendo click aquí.

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