LYRA3 FEG es la mejor combinación de SEM y FIB que necesitan los usuarios. Está basado en la columna FEG-SEM Schottky de alta resolución.

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Características principales:
  • Diseño único “Wide Field Optics” ofrece una gran variedad de modos de trabajo
  • Lentes IML que cambian la apertura final efectiva electromecánicamente
  • Rápida obtención de imágenes y litografía por haz de electrones disponible
  • CANION FIB de alto rendimiento para la preparación rápida y precisa de secciones de muestras TEM
  • Columna COBRA-FIB de ultra alta resolución: convierte a este equipo en el instrumento FIB más precios para nano-ingeniería
  • Resolución extraordinaria con un potente detector en el haz (In-Beam Detector) opcional
  • Columna óptica única con dos bombas de vacío diferenciadas que permiten obtener un ultra bajo efecto de scattering
  • Obtención de imágenes y grabado FIB simultáneo. Control totalmente integrado en el software del SEM
  • Micro/nano mecanizado
  • Litografía por haz de iones

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