FE-SEM controlado por PC en combinación con columna de plasma Xe FIB (i-FIB) y opcionalmente con sistema de inyección de gases GIS.

FERA3 XMCaracterísticas principales
  • Obtención de imágenes de alta resolución, bajo ruido y alta corriente.
  • Sofisticado sistema plasma de alto rendimiento i-FIB tanto para el corte como para la extracción de material, extremadamente rápido y preciso
  • Resolución extraordinaria con un potente detector en haz opcional.
  • Óptica única de tres lentes Wide Field ™ que ofrece una gran variedad de modos de trabajo
  • Obtención de imágenes rápida
  • Detector en haz EEB para obtener imágenes de la EEB a distancias de trabajo muy cortas (opcionales) adecuados incluso para imágenes de muestras ferromagnéticas. para la columna de iones
  • Columna i-FIB de ultra-alta resolución y excelente rendimiento a alta corriente con Plasma Xe
  • Sofisticado software para el control de SEM/FIB/GIS, la adquisición de imágenes, procesamiento y análisis; entorno multiusuario.
Configuraciones FERA3:
  • FERA3 XMH: FE-SEM controlado por PC en combinación con columna de plasma Xe FIB (i-FIB) y opcionalmente con sistema de inyección de gases GIS para operaciones de alto vacío.
  • FERA3 XMU: FE-SEM controlado por PC en combinación con columna de plasma Xe FIB (i-FIB) y opcionalmente con sistema de inyección de gases GIS para operaciones de alto vacío así como de bajo vacío.

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