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Elipsómetros espectroscópicos: SENresearch

El elipsómetro espectroscópico SENresearch 4.0 cubre el rango espectral más amplio de 190 nm (Deep UV) a 3.500 nm (NIR).

NUEVO ELIPSÓMETRO: SENresearch 4.0

Elipsómetros espectroscópicos: SENresearchLa gama espectral más amplia y la mayor resolución
espectral

El elipsómetro espectroscópico SENresearch 4.0 cubre el rango espectral más amplio de 190 nm (Deep UV) a 3.500 nm (NIR). Además su alta resolución espectral para analizar incluso las películas gruesas de hasta 200 micras de espesor utilizando elipsometría FTIR.

Sin partes móviles

No existen piezas ópticas en movimiento durante la adquisición de datos, de esta forma se pueden obtener los mejores resultados de medida. El SSA (Step Scan Analyzer) es una característica única del elipsómetro espectroscópico SENresearch 4.0

Diseño 2C innovador
Elipsómetros espectroscópicos: SENresearch

El diseño innovador 2C permite medir la matriz Mueller completa. Este diseño 2C es un accesorio actualizable.

Completo software SpectraRay /4 de elipsometría

El SpectraRay/4 es un completo paquete de software para el análisis de materiales avanzados. SpectraRay/4 se puede usar en modo interactivo para la investigación mediante interfaz gráfica de usuario guiada y el modo de receta para aplicaciones de rutina.

El SENresearch 4.0 es el nuevo elipsómetro espectroscópico de nuestro socio SENTECH. El rango espectral de este equipo así como las opciones de accesorios vienen marcadas por las necesidades de cada cliente. Utiliza elipsometría FTIR rápida para el NIR hasta 2500 nm o 3500 nm, respectivamente. Proporciona un amplio rango espectral con mejor relación S/N y una mayor resolución espectral. Puede llegar a medir películas de silicio de hasta 200 micras de espesor. La velocidad de medición de la elipsometría FTIR es comprable a las configuraciones de matriz de diodo, que también se pueden seleccionar hasta 1.700 nm.

El nuevo Goniómetro-Pirámide motorizado cuenta con una gama de ángulos desde los 20 grados a los 100 grados. Incorpora codificadores ópticos que aseguran la más alta precisión y estabilidad a largo plazo de los ajustes de ángulo. Los brazos del elipsómetro espectroscópico se pueden mover independientemente para dispersometría y mediciones de transmisión de ángulo resuelto.

SENresearch 4.0 funciona según el principio SSA. El SSA desacopla la medición de la intensidad del movimiento mecánico, permitiendo de este modo analizar muestras rugosas. Todas las partes ópticas están en reposo durante la adquisición de datos. Además, la SENresearch 4.0 incluye un modo de medición rápido para el mapeo y en aplicaciones in situ.

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