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TFS 600: Sistema ALD de lotes, hasta 400x500mm

Siendo el primer modelo de reactor Beneq, ha demostrado su caso como una herramienta versátil.

TFS 600 es un sistema ALD  que proporciona calidad superior de película delgada cumpliendo con los sistemas de alto rendimiento, robustez y requisitos de fiabilidad. En el TFS 600, estos requisitos son abordados por el diseño optimizado, una construcción robusta y modular y componentes de operación y características de seguridad integradas.

Beneq_TFS600 ALD

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