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TFS 200R: Investigación ALD espacial

El TFS 200R se utiliza exclusivamente para depositar películas delgadas sobre sustratos flexibles.

Por primera vez en la historia de la ALD, el sistema TFS 200R de nuestro partner tecnológico Beneq permite la investigación en el comportamiento dinámico de diversas composiciones químicas precursoras, la simulación de la idoneidad del proceso y evaluación del desempeño de la película en aplicaciones ALD.

Beneq_TFS200R ALD

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