Para investigación ALD, con plasma CCP superior, incluyendo la opción Particle ALD.

El TFS 200 es la plataforma de investigación ALD más flexible jamás diseñada para aplicaciones de I+D.

Todos los detalles del sistema se realizan con flexibilidad, modularidad y facilidad de uso. Con el TFS 200, la libertad de desarrollo y aplicación de recubrimiento dependerá completamente del operador, y no será limitada por restricciones relacionadas con el sistema.

Beneq_TFS200 ALD

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