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TFS 1200: Sistema ALD de lotes, hasta 1200x1200mm

Sistema específico diseñado para producció industrial en línea de revestimientos de capas.

El Beneq TFS 1200 es un sistema específico de aplicación diseñado para la producción industrial en línea de revestimientos de capa sobre cobre-indio-galio-diseleniuro (CIGS) células solares de película delgada.

El tamaño máximo de sustrato es 1200 × 1200 (mm), un récord mundial reconocido en el tamaño del sustrato en la ALD.

Beneq_TFS1200 ALD

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